1.測量中心距離:100mm±35mm
2.分辨率/重復精度:100nm
3.測量范圍:100±35mm
4.直線性:±0.1%F.S
5.光斑尺寸:約Φ150um
1.測量中心距離:100mm±35mm
2.分辨率/重復精度:100nm
3.測量范圍:100±35mm
4.直線性:±0.1%F.S
5.光斑尺寸:約Φ150um
1.測量中心距離:400mm±35mm
2.分辨率/重復精度:400nm
3.測量范圍:400±200mm
4.直線性:±0.1%F.S
5.光斑尺寸:約Φ500um
1.測量中心距離:400mm±35mm
2.分辨率/重復精度:400nm
3.測量范圍:400±200mm
4.直線性:±0.1%F.S
5.光斑尺寸:約Φ500um